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什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，让您满意，欢迎您的来电！上海stil传感器解决方案

优势??非接触三维表面轮廓测量??噪音小，测量重复性好??纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm??测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点??点间距小，XY分辨率高??多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野??测量速度快，可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息上海Marposs 传感器厂家马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，期待您的光临！

在具体测量过程，需保证光强和量程预警指示灯为绿色，则测量的数据质量好，重复性精度高。如遇到橙色或红色显示，则需要根据上述方法调整传感器的状态。如尝尽上述方法都未能解决问题，请及时联系我们说的售后工程师，我们将帮助您解决该问题与您分享光谱共焦传感器光笔测头知识讲解与注意事项首先，测头是可以更换的：同一个控制器多可存储20个对应于不同的测头的校准表数据，即可配备20个不同的测头。其次，测头是完全无源的：因为它没有包含热源和移动部件，所以要避免可能影响传感器测量过程精度的任何热膨胀。将测头连接在控制器上的光缆长可以定做到10m，当整理光纤线时避免将其弯曲成曲率半径小于20mm的圆弧

半导体行业材料强国是科技强国的基础，第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色，也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的**领域之一。我国精密加工技术和配套能力进步迅速，已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应，促进地方产业转型升级。该微电子产业发展政策，针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局，机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异，坪山区将依托5G试点，建设第三代半导体产业集聚区。光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，用户的信赖之选。

激光干涉位移传感器激光干涉仪：超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动，并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外，每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作，例如高真空，超高真空，低温或辐射恶劣的环境。马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，有需求可以来电咨询！上海Marposs 传感器厂家

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光谱共焦位移传感器?外形尺寸测量?空气夹层测量?厚度(透明物体)测量?段差高度(非透明物体)测量?外形轮廓测量?表面型貌测量?表面粗糙度测量?表面微小划痕测量?三维测量?平面度测量优势??高分辨率，比较高可达纳米级??高精度，比较高可达16纳米??同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区??可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面??物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体??可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度上海stil传感器解决方案